반도체 광공학 연구실
■ 지도교수 : 이호선 교수■ 위치 : 전자정보대학/응용과학대학관 140호
■ 연락 : 031-201-2481
■ 연구실 홈페이지 : http://photonics.khu.ac.kr
연구분야
반도체분광학 연구실은 반도체, 산화물, 고분자 등 전자재료의 박막 및 나노구조의 광학적, 전기적 특성을 연구하고, 이를 이용하여 전기적 및 광학적 소자를 개발하고 있다. 그리고, 반도체 박막의 광학적 분석에 꼭 필요한 분광타원해석기를 제작, 개발하는 연구를 한다. 최근에는 비휘발성 메모리 소자 및 Metal-Insulator-Metal antireflection coating, 기능성 DNA 박막 등을 연구하고 있다.분광타원해석기는 유전함수를 측정하여 전자 재료 박막의 전자띠(electronic band structure) 구조를 연구한다. 비휘발성 메모리에는 여러 가지가 있으나, 본 연구실에서는 ReRAM과 PRAM에 대해서 주로 연구하고 있다. 두 대의 sputtering 장비를 이용하여, 다양한 전자 재료 및 소자를 제작하고 있다. 특히 최근 들어 NiO, Cu2O 등의 p-type oxide 전자 재료 및 이를 이용한 transparent oxide electronics (예: n-ZnO/p-NiO solar cell)를 연구하고 있다.미국의 Virginia Commonwealth University, National Renewable Energy Laboratory, 국내의 Korea Institute of Science and Technology 등과 활발히 연구 교류를 하고 있다.
연구주제
1. 반도체, 산화물, 고분자 등 전자재료 박막 및 나노구조의 광학적, 전기적 특성 연구2. ReRAM, PRAM 등의 비휘발성 메모리 소재 및 소자 연구
3. p-type oxide 전자 재료 및 transparent oxide electronics 연구
4. 분광타원해석기 등의 박막분석 광학 기기 개발
연구시설
| Spectrophotometer | 이미지 | 반도체 광공학 연구실 |
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| 반도체의 반사율과 투과율을 자외선, 가시광선, 적외선 영역에 걸쳐 측정한다. |
연구시설
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Rotating Analyzer- type Spectroscopic Ellipsometer |
이미지 | 반도체 광공학 연구실 |
|---|---|---|
| 선형편광된 빛을 Brewster Angle로 입사시켜 시료의 유전함수를 구한다. |
연구시설
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Generalized Spectroscopic Ellipsometer |
이미지 | 반도체 광공학 연구실 |
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최근 연구업적
1. Dielectric functions and critical points of PbTiO3,PbZrO3,andPbZr0.57Ti0.43O3grownonSrTiO3substrate, T.D. Kang, and H. Lee, G. Xing, N. Izyumskaya, V. Avrutin, B. Xiao, and H.Morkoc, Appl. Phys. Lett. 91(2), 022918 (2007).2. The effect of Ga/In ratio on the optical and electrical properties of GaInZnO thin films grown on SiO2/Sisubstrates,Donghun Kang, Ihun Song, Changjung Kim,Yongsoo Park, Tae Dong Kang, Ho Suk Lee, Jun-Woo Park, Seoung Ho Baek, Suk-Ho Choi, and Hosun Lee, Appl. Phys. Lett. 91(9), 091910 (2007).
3. Optical Properties of (GeTe, Sb2Te3)pseudo-binarythinfilmsstudiedwithspectroscopicellipsometry, Jun-Woo Park, Seoung Ho Baek, Tae Dong Kang, Hosun Lee, Youn-Seon Kang, ae-Yon Lee, Dong-Seok Suh, Ki Joon Kim, Cheol Kyu Kim, Yoon Ho Khang, Juarez L. F. Da Silva, and Su-Huai Wei, Appl. Phys. Lett. 93(2), 021914 (2008).
4. Large electrooptic effect in single-crystal Pb(Zr,Ti)O3 (001) measured by spectroscopic ellipsometry, T.D. Kang, Bo Xiao, Vitaliy Avrutin, Umit Ozgur, Hadis Morkoc, Jun-Woo Park, Ho Suk Lee, Hosun Lee, Xiaoyu Wang, David Smith, J. Appl. Phys. 104, 093103 (2008).
5. Insights into the structure of the stable and meta-stable (GeTe)m(Sb2Te3)n compounds, Juarez L. F. Da Silva, Aron Walsh, and Hosun Lee, Phys. Rev. B 78, 224111 (2008).
6. Optical and Structural Properties of Ion-implanted InGaZnO Thin Films Studied with Spectroscopic Ellipsometry and Transmission Electron Microscopy, Jun Woo Park, Pil Seong Jeong, Suk-Ho Choi, Bo Hyun Kong, Hyung Koun Cho, and Hosun Lee, Jpn. J. Appl. Phys. 48, 111603 (2009).