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연구
반도체 광공학 연구실
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반도체 광공학 연구실
■ 지도교수 : 이호선 교수
■ 위치 : 전자정보대학/응용과학대학관 140호
■ 연락 : 031-201-2481
■ 연구실 홈페이지 : http://photonics.khu.ac.kr
연구분야
반도체분광학 연구실은 반도체, 산화물, 고분자 등 전자재료의 박막 및 나노구조의 광학적, 전기적 특성을 연구하고, 이를 이용하여 전기적 및 광학적 소자를 개발하고 있다. 그리고, 반도체 박막의 광학적 분석에 꼭 필요한 분광타원해석기를 제작, 개발하는 연구를 한다. 최근에는 비휘발성 메모리 소자 및 Metal-Insulator-Metal antireflection coating, 기능성 DNA 박막 등을 연구하고 있다.

분광타원해석기는 유전함수를 측정하여 전자 재료 박막의 전자띠(electronic band structure) 구조를 연구한다. 비휘발성 메모리에는 여러 가지가 있으나, 본 연구실에서는 ReRAM과 PRAM에 대해서 주로 연구하고 있다. 두 대의 sputtering 장비를 이용하여, 다양한 전자 재료 및 소자를 제작하고 있다. 특히 최근 들어 NiO, Cu2O 등의 p-type oxide 전자 재료 및 이를 이용한 transparent oxide electronics (예: n-ZnO/p-NiO solar cell)를 연구하고 있다.미국의 Virginia Commonwealth University, National Renewable Energy Laboratory, 국내의 Korea Institute of Science and Technology 등과 활발히 연구 교류를 하고 있다.
연구주제
1. 반도체, 산화물, 고분자 등 전자재료 박막 및 나노구조의 광학적, 전기적 특성 연구
2. ReRAM, PRAM 등의 비휘발성 메모리 소재 및 소자 연구
3. p-type oxide 전자 재료 및 transparent oxide electronics 연구
4. 분광타원해석기 등의 박막분석 광학 기기 개발
연구시설
연구시설
Spectrophotometer 이미지 반도체 광공학 연구실
반도체의 반사율과 투과율을 자외선, 가시광선, 적외선 영역에 걸쳐 측정한다.
연구시설
연구시설
Rotating Analyzer-
type Spectroscopic
Ellipsometer
이미지 반도체 광공학 연구실
선형편광된 빛을 Brewster Angle로 입사시켜 시료의 유전함수를 구한다.
연구시설
연구시설
Generalized
Spectroscopic
Ellipsometer
이미지 반도체 광공학 연구실
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최근 연구업적
1. Dielectric functions and critical points of PbTiO3,PbZrO3,andPbZr0.57Ti0.43O3grownonSrTiO3substrate, T.D. Kang, and H. Lee, G. Xing, N. Izyumskaya, V. Avrutin, B. Xiao, and H.Morkoc, Appl. Phys. Lett. 91(2), 022918 (2007).
2. The effect of Ga/In ratio on the optical and electrical properties of GaInZnO thin films grown on SiO2/Sisubstrates,Donghun Kang, Ihun Song, Changjung Kim,Yongsoo Park, Tae Dong Kang, Ho Suk Lee, Jun-Woo Park, Seoung Ho Baek, Suk-Ho Choi, and Hosun Lee, Appl. Phys. Lett. 91(9), 091910 (2007).
3. Optical Properties of (GeTe, Sb2Te3)pseudo-binarythinfilmsstudiedwithspectroscopicellipsometry, Jun-Woo Park, Seoung Ho Baek, Tae Dong Kang, Hosun Lee, Youn-Seon Kang, ae-Yon Lee, Dong-Seok Suh, Ki Joon Kim, Cheol Kyu Kim, Yoon Ho Khang, Juarez L. F. Da Silva, and Su-Huai Wei, Appl. Phys. Lett. 93(2), 021914 (2008).
4. Large electrooptic effect in single-crystal Pb(Zr,Ti)O3 (001) measured by spectroscopic ellipsometry, T.D. Kang, Bo Xiao, Vitaliy Avrutin, Umit Ozgur, Hadis Morkoc, Jun-Woo Park, Ho Suk Lee, Hosun Lee, Xiaoyu Wang, David Smith, J. Appl. Phys. 104, 093103 (2008).
5. Insights into the structure of the stable and meta-stable (GeTe)m(Sb2Te3)n compounds, Juarez L. F. Da Silva, Aron Walsh, and Hosun Lee, Phys. Rev. B 78, 224111 (2008).
6. Optical and Structural Properties of Ion-implanted InGaZnO Thin Films Studied with Spectroscopic Ellipsometry and Transmission Electron Microscopy, Jun Woo Park, Pil Seong Jeong, Suk-Ho Choi, Bo Hyun Kong, Hyung Koun Cho, and Hosun Lee, Jpn. J. Appl. Phys. 48, 111603 (2009).

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