나노구조 및 디스플레이 연구실
■ 지도교수 : 최석호 교수■ 위치 : 전자정보대학/응용과학대학관 123호
■ 연락 : 031-201-2499
■ 연구실 홈페이지 : http://nano.khu.ac.kr
연구분야
나노구조 및 디스플레이 연구실은 실리콘계 반도체 및 Ⅱ-Ⅵ 족 계열의 물질을 바탕으로 융복합 반도체 및 나노구조를 제작하고 그 특성을 규명하여 발광, 메모리, 태양전지에 응용할 목적으로 연구하고 있다. Si, Ge을 이용한 나노선, high-k 절연체의 금속이온 도핑, 양자점, 및 그래핀 등을 이용한 복합반도체 및 융복합 나노구조를 제작하여 그 특성을 분석하고 있다. 나노선 연구로는 현재 Furnace 및 급속 열처리 장비에서 Si 및 Ge 분말과 carrier gas(O2, N2, Ar)를 이용하여 나노선을 제작하고 각각의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하고 있으며, 복합 물질 연구로는 RF 스퍼터링 증착기를 이용하여 ZnO 및 ZnO 복합 반도체를 제작하여 발광 소자 특성을 연구 중에 있다. 또한 양자점, 나노선, ZnO, 및 그래핀을 활용하여 태양전지 소자 제작에도 많은 연구가 진행 중에 있다. 비휘발성 플래쉬 메모리 소자연구로는 현재 한국표준과학연구원과 호주국립대학교와 연계하여 high-k 절연체 내에 나노점 또는 불순물 전하트랩을 형성하여 비휘발성메모리 특성을 연구하고 있다.
연구주제
1. 나노구조(양자점, 나노선, 나노튜브, 그래핀 등)의 구조적, 전기적, 광학적 특성 및 소자응용 연구2. 새로운 전하저장 트랩을 이용한 비휘발성 플래쉬 메모리 연구
3. 자발성장한 반도체 양자점을 이용한 태양전지 연구
4. ZnO 및 복합반도체를 이용한 발광소자 연구
연구시설
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Photoluminescence Analyzer |
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Helicon Plasma System |
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High-T Vacuum Annealing System |
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E-beam Evaporator |
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Time-Resolved Photoluminescence Spectroscopy |
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최근 연구업적
1. C.J. Park, W.-C. Yang, H. Y. Cho, Min Choul Kim, Sung Kim, and Suk-Ho Choi, "Effect of Si-spacer thickness on optical properties of multi-stacked Ge quantum dots grown by rapid thermal chemical vapor deposition ", J. Appl. Phys. 101, 014304 (2007).2. Kyu Il Han, Yong Min Park, Sung Kim, Suk-Ho Choi, Kyung Joong Kim, Il Han Park, and Byung-Gook Park, "Enhancement of Memory Performance Using Doubly-Stacked Si Nanocrystal Floating Gates Prepared by Ion Beam Sputtering in UHV", IEEE Trans. Electron Devices 54, 359 (2007).
3. Sung Kim, Yong Min Park, Suk-Ho Choi, and Kyung Joong Kim, "Origin of cathodoluminescence from Si nanocrystal/SiO2 multilayers", J. Appl. Phys. 101, 034306 (2007).
4. S. Choi, Y.-K. Cha, B.-S. Seo, S. Park, J.-H. Park, S. Shin, K. S. Seol, J.-B. Park, Y.-S. Jung, Y. Park, Y. Park, I.-K. Yoo, and Suk-Ho Choi, "Atomic-layer deposited IrO2 nanodots for charge-trap flash-memory devices", J. Phys. D 40, 1426 (2007).
5. Sung Kim, Yong Min Park, Suk-Ho Choi, Kyung Joong Kim, and Dong Hoon Choi, "Temperature-dependent carrier recombination processes in nanocrystalline Si/SiO2 multi-layers studied by continuous-wave and time-resolved photoluminescence", J. Phys. D 40, 1339 (2007).
6. S.-W. Lee, T.G. Kim, K. Hirakawa, J.S. Kim, S.-H. Choi, and H.Y. Cho, "Lateral photoconductivity and bound states of self-assembled Ge/Si quantum dots", Nanotechnology 18, 105403 (2007).
7. Min Choul Kim, Sung Kim, Suk-Ho Choi, and Sangjin Park, "Anomalous light-induced enhancement of photoluminescence from Si nanocrystals fabricated by thermal oxidation of amorphous Si", Appl. Phys. Lett. 91, 033111 (2007).
8. D. Kang, I. Song, C. J. Kim, Y. S. Park, T. D. Kang, H. S. Lee, J.-W. Park, S. H. Baek, and S.-H. Choi, "The effect of Ga/In ratio on the optical and electrical properties of GaInZnO thin films grown on SiO2/Si substrates", Appl. Phys. Lett. 91, 091910 (2007).
9. Sung Kim, Min Choul Kim, Suk-Ho Choi, K. J. Kim, H. N. Hwang, and C. C. Hwang, "Size dependence of Si 2p core-level shift at Si nanocrystal/SiO2 interfaces", Appl. Phys. Lett. 91, 103113 (2007).
10. Sung Kim, Do Kyu Lee, Seung Hui Hong, Sung Hwan Eom, Hyoung Taek Oh, Suk-Ho Choi, Han Na Hwang, and Chan Cuk Hwang, "High-efficient ultraviolet emission in phonon-reduced ZnO films: the role of germanium", J. Appl. Phys. 103, 023514 (2008).
11. Seung Hui Hong, Min Choul Kim, Pil Seong Jeong, Suk-Ho Choi, Y.-S. Kim, K. J. Kim, "Nonvolatile memories of Ge nanodots self-assembled by depositing ultrasmall amount Ge on SiO2 at room temperature", Appl. Phys. Lett. 92, 093124 (2008).
12. Seung Hui Hong, Min Choul Kim, Pil Seong Jeong, Suk-Ho Choi, and Kyung Joong Kim, "Ge-nanodot multilayer nonvolatile memories", Nanotechnology 19, 305203 (2008).
13. Sung Kim, Chang Oh Kim, Sung Won Hwang, and Suk-Ho Choi, "Growth and enhanced light emission of hybrid structures of ZnO/Si nanocrystals", Appl. Phys. Lett. 92, 243108 (2008).
14. J. Park, D.-K. Lee, D. Lim, H. Lee, and Suk-Ho Choi, "Optical Properties of Thermally Annealed Hafnium Oxide and Their Correlation with Structural Change", J. Appl. Phys. 104, 033521 (2008).
15. Sung Kim, Chang Oh Kim, Hyoung Taek Oh, and Suk-Ho Choi, "Strong enhancement of near-band-edge photoluminescence from ZnO by assembling ZnO/SiOx heterostructures", J. Physics D 41, 235403 (2008).
16. Min Choul Kim, Seung Hui Hong, Hye Ryong Kim, Sung Kim, Suk-Ho Choi, R. G. Elliman, and S. P. Russo, "Nonvolatile memories using deep traps formed in Al2O3 by metal ion implantation", Appl. Phys. Lett. 94, 112110 (2009).
17. Sung Kim, Sung Won Hwang, Suk-Ho Choi, R. G. Elliman, Young-Min Kim, and Youn-Joong Kim, "Formation characteristics and photoluminescence of Ge nanocrystals in HfO2", J. Appl. Phys. 105, 1061121 (2009).
18. Sung Kim, Dong Hee Shin, Chang Oh Kim, Sung Won Hwang, Suk-Ho Choi, Seungmuk Ji, and Ja-Yong Koo, "Enhanced ultraviolet emission from hybrid structures of single-walled carbon nanotubes/ZnO films", Appl. Phys. Lett. 94, 213113 (2009).
19. Min Choul Kim, Sung Kim, Suk-Ho Choi, K. Belay, R. G. Elliman, and S. P. Russo, “Nonvolatile memories using AlO--implanted Al2O3”, IEEE Electron Dev. Lett. 30,837(2009).